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SVT公司 RHEED及圖像獲取系統(tǒng)

SVT公司 RHEED及圖像獲取系統(tǒng)

更新時間:2024-11-28

產品型號:RHEED

廠商性質:經銷商

生產地址:

產品報價:

產品特點:SVT公司 RHEED及圖像獲取系統(tǒng)
產品簡介:
反射高能電子衍射儀是MBE制程的一部分。在薄膜沉積過程中,RHEED給客戶提供了重要的信息。
    首先,RHEED圖像表征樣品表面的狀態(tài)。
    其次,其強度震蕩可以提供生長速率的量化數(shù)據(jù)。
        RHEED提供了清晰的焦點,以及衍射圖樣,并能夠在屏幕上高亮度顯示。
    電子光學部件有磁性保護罩,便于提高操作性。

產品詳情

產品簡介

反射高能電子衍射儀是MBE制程的一部分。在薄膜沉積過程中,RHEED給客戶提供了重要的信息。

    首先,RHEED圖像表征樣品表面的狀態(tài)。

    其次,其強度震蕩可以提供生長速率的量化數(shù)據(jù)。

    RHEED提供了清晰的焦點,以及衍射圖樣,并能夠在屏幕上高亮度顯示。

    電子光學部件有磁性保護罩,便于提高操作性。

 

可選部件:RHEED圖像分析硬件和軟件系統(tǒng),可以實時獲取RHEED圖樣,使用戶便于觀察和控制薄膜生長質量。完整的RHEED系統(tǒng)包括 10KeV RHEED電子束源,電源及配套光纜。


技術參數(shù)

束流電壓  10KV
燈絲電流   3A
發(fā)射電流 5A
光斑大小1.0mm   (17’’/1075px距離
烘烤溫度230℃

 

RHEED Electron Source
2.75"和4" 法蘭
RHEED Power Supply
RHEED Image Analysis Software
高分辨CCD 或相機
實時分析
2D/3D分析
RHEED Optional Components

 

主要特點

實時檢測外延生長

測量薄膜生長速率

單晶薄膜的生中速率測量

光學部件帶有磁性罩

 

 

 

 

 

 

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